俄罗斯公布 EUV 光刻路线图
俄罗斯科学院微结构物理研究所公布了国产极紫外（EUV）光刻机路线图，计划在 2026–2036 年间分阶段研发三代设备，目标制程从 40nm 推进至亚 10nm。
该方案采用不同于 ASML 的技术架构，使用氙等离子体光源和钌/铍反射镜，避免锡滴光源带来的碎屑问题。研发团队称，这将降低复杂度和维护成本，并覆盖 65 至 9nm 工艺节点，设备价格也将低于 ASML 的产品。
但业内指出，11.2nm 波长并非行业标准，涉及镜片、光源、光刻胶等大量技术难题，实际可行性仍不确定。分析人士认为，即便研发成功，其更多可能用于科研或实验，而非立即商业化。
© 版权声明
本站提供的一切软件、教程和内容信息仅限用于学习和研究目的；不得将上述内容用于商业或者非法用途。本站所有信息均来自网络，版权争议与本站无关。您必须在下载后的24个小时之内，从您的电脑或手机中彻底删除上述内容。如果您喜欢该程序，请支持正版，购买注册，得到更好的正版服务。如有侵权不妥之处请致信 E-mail：admin@kongyu.xin 我们会积极处理。敬请谅解
THE END
![DL9月新作【互动SLG/NTL/人妻/动态】邻居的人妻2-在丈夫身旁忘我地中出性爱（近所の人妻2-旦那の隣で我を忘れてる中出しSEX）官中步兵版+存档 [4.30G]-空域资源网](https://pan4.649408.xyz/p/image/2025-09-06/df11b2bad9187e7e973f46308c17d789.jpg)
![破解版[国产互动SLG/真人/动态] 这个面试有点硬2 东洋篇 The Hardest Interview2 V1.11 [麻豆出品] 官方中文版 [20.50G]-空域资源网](https://pan4.649408.xyz/p/image/2025-10-01/913b184b59aaaf4c9c86b24331f4d2bc.webp)
暂无评论内容