台积电将于 2025 年底在台湾开建 1.4nm 工厂，不采用 ASML 高数值孔径 EUV 设备
台积电计划在今年底于台中开始建设 1.4nm 制程工厂，预计 2028 年下半年实现量产。该公司将投资约 1.5 万亿新台币（约 490 亿美元），其中大部分资金将用于 2027 年采购 30 台 EUV 光刻设备。
台积电选择不购买 ASML 价值 4 亿美元的高数值孔径 EUV 设备，而是采用复杂的多重图案化技术来实现 1.4nm 制程。该公司表示现有设备已能支持 1.4nm 晶圆量产，新制程预计可实现 30% 的功耗降低。
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